Усовершенствовали технологию изготовления силовых полупроводниковых приборов, предложив оригинальный способ диффузии акцепторных примесей в кремниевые пластины, А.Турцевич, В.Глухманчук, В.Солодуха, А.Матюшевский, В.Шильцев и В.Становский (патент Республики Беларусь на изобретение №14380, МПК (2009): H01L21/02; заявитель и патентообладатель: Открытое акционерное общество «ИНТЕГРАЛ»).

Изобретение относится к способу глубокой сквозной разделительной диффузии акцепторных примесей из легированных пленок в полированные кремниевые пластины. Отмечается, что применение изобретения на практике позволит повысить выход годных силовых полупроводниковых приборов в 1,25 — 1,35 раза.

Обозревал белорусские патенты Анатолий ПРИЩЕПОВ,

физик, изобретатель, патентовед

 (тел. в Беларуси 8 025 683 76 71)