«Способ удаления полимера при изготовлении интегральных микросхем» (краткое описание изобретения к патенту Республики Беларусь № 21202; авторы изобретения: А.С.Турцевич, А.М.Кисель, В.Л.Трусов, В.Е.Шикуло; заявитель и патентообладатель: Открытое акционерное общество «ИНТЕГРАЛ» — управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»).

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (ИМС). Оно может найти применение при создании «топологического рисунка» межэлементных токопроводящих соединений в процессе изготовлении ИМС.

Как поясняется авторами, в технологии изготовления ИМС операции создания металлизированной межэлементной «разводки» являются определяющими. Качество металлизированной «разводки» является одним из основных факторов, влияющих на процент выхода годных ИМС и надежность выпускаемых изделий. По мере увеличения степени интеграции ИМС и уменьшения проектных топологических норм ИМС наблюдается тенденция по снижению ширины металлизированных шин и увеличению плотности их размещения. Формирование металлизированной «разводки» для ИМС с топологическими нормами (0,5 мкм и ниже) осуществляется с помощью «плазмохимического травления» (ПХТ). Вследствие ПХТ вдоль шин металлизированной «разводки» образуется пристеночный полимер. При этом количество полимера тем больше, чем меньше расстояние между шинами металла. Большое количество полимера, сконцентрированного в узких зазорах между шинами металла, значительно затрудняет его удаление. Неполное удаление пристеночных полимерных загрязнений приводит к отслаиванию полимера от металлизированных шин (после осаждения пассивирующей диэлектрической пленки) (из-за возникновения дополнительных механических напряжений), к ухудшению внешнего вида ИМС на завершающей стадии их изготовления и снижению надежности готовых изделий.

Изобретение решает задачу обеспечения полного удаления пристеночного полимера в узких зазорах между шинами металлизированной «разводки» без разрушения ее материала.

Наиболее оптимальным способом удаления полимера при изготовлении ИМС является предложенный авторами способ.

Качество удаления пристеночного полимера авторы поясняют соответствующими фигурами.

Здесь представлено: на фиг.1 — неполное удаление пристеночного полимера в узких зазорах между шинами металлизированной «разводки»; на фиг.2 — полное удаление пристеночного полимера в узких зазорах между шинами металлизированной «разводки»; на фиг.3 — «растравливание» шин металлизированной «разводки».