Повышена производительность процесса полирования с применением изобретения Анатолия Кузея «Полировальная суспензия» (патент Республики Беларусь № 19673, МПК (2006.01): C 09G 1/02; заявитель и патентообладатель: Государственное научное учреждение «Физико—технический институт НАН Беларуси»).

Изобретение относится к полирующим составам, применяемым для финишной обработки поверхности материалов электронной техники.

Предложенная полировальная суспензия содержит (мас. %): оксид алюминия (3-30), алкоголят щелочного металла (1-20) и воду (остальное).

Поясняется, что применение в составе суспензии алкоголята щелочного металла обеспечивает требуемый химико-механический режим полирования. Гидролиз алкоголята щелочного металла повышает pH суспензии и приводит к растворению обрабатываемого материала (сапфира, кремния). Одновременно частицы оксида алюминия воздействуют на выступы на поверхности материала, механически удаляя их.

Полировальную суспензию получали механическим и ультразвуковым диспергированием оксида алюминия в водном растворе алкоголята щелочного металла. В качестве алкоголятов щелочных металлов применяли этилат и глицерат. Суспензии использовали при финишной обработке пластин сапфира. В качестве «полировальника» применяли фетр.