К области вакуумно—плазменной техники и технологии относится изобретение белорусских ученых «Импульсный генератор электроэрозионной плазмы для нанесения алмазоподобного покрытия на подложки» (патент Республики Беларусь на изобретение № 19667, МПК (2006.01): H 05H 1/24, H 05H 1/54, C 23C 14/24; авторы изобретения: В.Зеленин, Л.Ходарина; заявитель и патентообладатель: Государственное научное учреждение «Физико—технический институт НАН Беларуси»).
Задача изобретения — повышение скорости осаждения и качества алмазоподобного покрытия. Решению поставленной задачи способствовала оригинальная конструкция разработанного авторами импульсного генератора электроэрозионной плазмы.
Поясняется, что в заявленном генераторе под действием импульсного магнитного поля, генерируемого имеющимся в нем соленоидом, электроны плазмы («предварительного и основного разрядов») направляются через проходное сечение к выходному отверстию в корпусе генератора. Поскольку каждый локальный объем плазмы стремится сохранить «электронейтральность», то вслед за электронами увлекаются и ионы углерода. Содержащиеся в потоках плазмы микрочастицы графита, движущиеся по прямолинейным траекториям, путем многократного отражения от заслонки и перегородок сепаратора отсеиваются. И через выходное отверстие в корпусе генератора к подложкам поступают потоки «отсепарированной» плазмы.
Размещение сепаратора в корпусе генератора, соленоида на нём, а также оригинальная установка заслонки, позволили повысить прохождение ионов углерода плазмы через выходное отверстие генератора-сепаратора с 25 до 80-90 %.
В результате быстрой и эффективной сепарации плазмы, а также благодаря высокому проценту прохождения ионов углерода в предложенной конструкции генератора в 1,6-2 раза возросла скорость осаждения высококачественного алмазоподобного покрытия.