Тонкие пленки для конденсаторных структур с успехом получают в Научно-практическом центре НАН Беларуси по материаловедению (патент РБ на изобретение № 18396, МПК (2006.01): C 23C 14/08, H 01G 7/06; авторы изобретения: Н.Каланда, Л.Гурский, Д.Голосов, С.Завадский; заявитель и патентообладатель: вышеотмеченное ГНПО).

Тонкие сегнетоэлектрические пленки «цирконата титаната свинца» сегодня применяются в микро- и наноэлектронной промышленности в качестве элементов энергонезависимой и динамической памяти (с низкими управляющими напряжениями и с длительными временами хранения информации), в микромеханических системах и пироэлектрических матричных сенсорах. Из-за высоких значений диэлектрической проницаемости эти пленки перспективны также для использования в конденсаторных структурах с высокими емкостями.

Задачей, на решение которой были направлены усилия авторов, являлось упрощение и оптимизация проведения процесса синтеза вышеотмеченных пленок с улучшенными их сегнетоэлектрическими и структурными характеристиками. При этом, по задумке авторов, режимы напыления тонких пленок «цирконата титаната свинца» должны быть такими, чтобы имелась возможность серийного их производства с воспроизводимыми физико-химическими свойствами.

Успешное решение этой задачи обеспечено, главным образом, правильным подбором оптимальных температурных режимов нагревания напыляемой подложки и кристаллизации полученной на ней пленки. Новым является то, что напыление пленок «цирконата титаната свинца» проводят двухлучевым ионным источником, одним из лучей которого распыляют материал мишени в среде аргона и кислорода, а другим осуществляют бомбардировку напыляемой пленки ионами этих газов.

Авторам удалось удешевить технологию получения тонких пленок «цирконата-титаната свинца» и обеспечить полный контроль процесса проведения их синтеза.