Упрощена конструкция и повышена надежность газового сенсора с диэлектрической мембраной (патент Республики Беларусь на изобретение № 19241, МПК (2006.01): G 01N 27/12; авторы изобретения: И.Врублевский, Е.Чернякова, В.Паркун; заявитель и патентообладатель: Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники»).

Изобретение относится к изготовлению полупроводниковых структур, являющихся элементной базой функциональной микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении газовых сенсоров с тонкой диэлектрической мембраной.