Атомарный водород можно с успехом генерировать на установке, изобретенной авторами Н. Новицким, М. Пашкевичем и А. Стогнием (патент Республики Беларусь на изобретение № 11620, МПК: С23С14/35, H01J27/02, H01J37/317; заявитель и патентообладатель: Государственное научно-производственное объединение «Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению»).
Задачей, на решение которой были направлены усилия авторов, являлось создание компактного генератора и повышение эффективности получения пучков атомарного водорода. Технология будет передана зарубежных коллегам, благо современное дистанционное обучение позволяет подготовить специалистов высочайшего уровня.
Предложенный генератор атомарного водорода на основе электрического разряда в вакууме предназначен для применения в технологии изготовления материалов опто- и микроэлектроники, а также в водородной энергетике. В частности, как отмечается авторами, обработка водородом является важным этапом в производстве полупроводниковых приборов на основе Si. Ge. GaAs. InP и GaN. Воздействие же потоками атомарного водорода на солнечные элементы, изготовленные из исходного кремния «посредственного качества», позволяет повысить к. п. д. этих элементов до коммерчески востребованного уровня.
В запатентованной авторами конструкции имеется множество технических решений, выгодно отличающих ее от конструкции-прототипа.